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國立屏東科技大學研發處貴重儀器中心
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超高解析度熱場發射掃描式電子顯微鏡(FE-SEM) / Field Emission Scanning Electron Microscope
簡介 |

最新兼具-超高解析/分析能力之完美機型,特別適用於導電性差/敏感/生物試片,同時又具備熱場的大又穩定的分析電流,適用於日後之各種應用

 
功能說明 |

SEM/EDS/EBSD分析

服務對象 |

校內、校際、廠商

服務項目 |

(1) SEI (二次電子影像)與BEI(背向電子影像):樣品結構觀察
(2) EDS(能量分散光譜儀): 成分分析
(3) EBSD(背向散射電子繞射儀): 定量晶體取向

聯絡人 |

聯絡人:08-7703202轉7927
負責教授:材料所盧威華 教授 08-7703202轉7554
     材料所林鉉凱 助理教授 08-7703202轉7568

儀器廠牌/型號 | JSM-7600F FESEM / JEOL Ltd.
儀器規格 |

1、1.0 nm ( 加速電壓15KV )、1.5 nm ( 加速電壓 1KV )
2、倍率: 25 to 1,000,000×
3、加速電壓: 0.5 to 30 kV
4、探測電流:A few pA to 200 nA
5、試片移動範圍: X軸: 70mm、Y軸: 50 mm、旋轉: 360度、Z軸: 1.5 to 25 mm。
6、試片載台種類:全範圍eucentric goniometer載台最大規格 長25 mm 高1cm。

數量 | 1
收費標準 |

服務項目
屏科大 委託操作 (校內) 450 元/時
委託操作 (校際) 800 元/時
委託操作 (一般廠商) 1,500 元/時
鍍金,基本以2分鐘為單位 500 元/次
鍍鉑,基本以2分鐘為單位 500 元/次
鍍碳,基本以2分鐘為單位 600 元/次
EDS 元素分析每次加收 200 元/次
EBSD 成分分析每次加收 200 元/次
光碟片 10 元/片

注意事項 | 1. 若預約當日無法如期到達或遲到超過30分鐘(含)以上且未提前告知負責人,則取消當日預約,累積取消2次以上,暫停下個月預約權利。

2. SEM載台最大規格 直徑25 mm(同10元硬幣大小) 高1cm。
3. EBSD載台最大規格 面積1x1cm 高2mm (勿超過)。
4. 試件試片不得為含有毒性、腐蝕性、揮發性、磁性、水分及低熔點等粉末材料及有機高分子材料、未曾於本中心室進行實驗之人員,請先電話聯繫或至CE439詢問,確定樣品處理方式。
5. 非導電性及導電性差的試片(包括使用樹脂鑲埋之試片),皆要經過〝鍍導電膜〞之程序方可。試片表面必須用碳膠帶或銀膠將表面接地狀態。
6. 嚴禁使用含有揮發性及水氣的試片,試片在拋光腐蝕後,再用吹風機吹乾,至少要讓試片自然風乾1 至2 個小時,方可使用SEM 來觀察。
7. 使用者未按標準操作程序操作,致使儀器或相關設備受損者得負損壞賠償責任。
8. 欲預約實驗時段,請親自到場填表,若無法到場,煩請以電話預約,並詳細註明實驗樣品。
9. 若於預約當日,無法如期到場,請於預約日前幾天,以電話告知本中心研究助理,取消該預約時段。
10. 若於預約當日,無法如期到場,仍無用電話事先取消該預約時段,累計2次以上,暫停該預約者1個月的預約權。
11. 若因人為操作不當,導致機台故障,累計2次以上,立即取消該預約者認證資格,並暫停該預約者1個月預約權。經1個月後,需再次認證,經認證通過才給發操作執照。
12. 若因人為操作不當,導致機台嚴重故障或是損毀,立即取消該預約者認證資格,並暫停該預約者半年預約權。經半年後,需再次認證,經認證通過才給發操作執照。
13. 經認證許可資格者,在無事先預約實驗時段與A級人員陪同情況下,自行操作機台,經發現其行為累計2次以上者,立即取消該預約者認證資格。並暫停該預約者1 個月預約權,經1個月後,需再次認證,經認證通過才給發操作執照。
14. 實驗室內不得攜帶任何食物及飲料進入,第一次予以警告,第二次予以停權兩個星期。

 

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