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國立屏東科技大學研發處貴重儀器中心
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實驗室簡介

電子顯微鏡是一種觀察表面微觀世界的全能分析顯微鏡,隨著科學技術的進步,其類型和用途也不斷更新與發展。

電子顯微鏡應用範圍非常之廣泛,也很普遍的使用在非導電性樣品的觀察上。如生物 (種子、花粉、細菌) 、醫學 (血球、病毒)、動物 (大腸、絨毛、細胞、纖維)、材料 (陶磁、高分子、粉末、環氧樹脂)、化學、物理、地質、冶金、礦物、污泥 (桿菌)、機械、電機及導電性樣品如半導體 (IC、線寬量測、斷面、結構觀察)、電子材料等。

電子顯微鏡的構造與光學顯微鏡的構造其原理是相似的,只是電子顯微鏡除了本體外還有真空排氣裝置以及電氣系統。電子顯微鏡本體有一電子束源,就如光學顯微鏡有一光源,光的聚焦靠透鏡,而電子束的聚焦則靠磁場線圈(maganetic coil)。磁場線圈依功能分成三組,第一組是集結線圈(condenser coil):將電子束聚焦在標本上,第二組是物鏡線圈(objective coil):形成標本的初級影像,第三組是投射線圈(projector coil):將初級影像再放大,然後再成像在螢光板上。這一類的電子顯微鏡稱作穿透式電子顯微鏡(Transmission Electron Microscope, TEM),另一種電子顯微鏡其影像是收集打到標本後分散的二級電子束成像在螢光幕上,稱作掃描電子顯微鏡(Scanning Electron Microscope, SEM)。

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