電子顯微鏡是一種觀察表面微觀世界的全能分析顯微鏡，隨著科學技術的進步，其類型和用途也不斷更新與發展。本儀器利用加負壓於金屬尖端上，以強電場將電子吸出尖端而形成很微小的電子束，在極高的真空中操作可得到高品質分辨率的影像，普遍的使用在非導電性樣品的觀察上，如生物 (種子、花粉、細菌)、食品(澱粉、微生物)、醫學 (血球、病毒)、動物 (內臟、絨毛、細胞、纖維)、材料 (陶磁、高分子、粉末、環氧樹脂)、化學、物理、地質、冶金 、礦物、機械、電機及導電性樣品如半導體 (IC、線寬量測、斷面、結構觀察)、電子材料等。並配置能量分散式光譜儀（Energy Dispersive Spectrometer 簡稱 EDS）可做各種化學元素微量分析之定性及半定量，並提供了真空鍍膜（鍍金及鍍碳）設備服務。
掃描式電子顯微鏡(SEM)可進行高倍率顯微影像觀察，並藉由能量元素分析儀(EDS)分析未知樣品上所含有的成分，可得知各個元素所含有的重量百分比以及原子量百分比，進而可以分析各個元素的分布情況。
生技產業、食品研發類、農林漁牧業、化學工業、環保科技業、金屬工業、半導體公司等相關廠商、校內師生
- 二次電子影像觀察(SE)。
- 背向電子影像觀察(BSE)。
- 元素半定量分析(EDS) 。
- 樣品臨界點乾燥。
- 樣品鍍金處理。
貴重儀器中心 莊淑瑛 小姐 suin@mail.npust.edu.tw; (08)7703202 ext 5430
掃描式電子顯微鏡(SEM)：日本HITACHI S3000N
能量分散式X -ray元素分析儀 (EDS)：HORIBA EMAX-ENERGY
二次電子影像解析：3.0nm（高真空模式，加速電壓25KV)
背向散射電子影像解析度：4.0nm（可變壓力下，加速電壓25KV）
倍率範圍：X25～X20,000（153段）
加速電壓：0.3～30KV
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服務項目 | 金額(校內) | 金額(校外) | 備註 |
SEM上機觀察 | 400元/小時 | 500元/小時 | 含EDS元素分析 |
離子覆膜(鍍金) | 500元/次 | 600元/次 |
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臨界點乾燥 | 500元/次 | 600元/次 |
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SEM樣品組織塊製作 | 1,200/件 | 1,500/件 | 含固定、脫水(10個樣品) |
- 樣品厚度在 3mm 以下者，樣品面積以 7×7mm 見方為限，試片裁取自行處理，並請保持試片乾淨。
- 本中心提供之標本處理為臨界點乾燥與金屬離子鍍膜，其餘標本之固定，脫水及其它特殊處理等，請申請者自理。
- 樣品含量高量油脂、蠟質、在電子束照射下會分解及釋出大量氣體之樣品、及自行乾燥處理但含水量仍高之樣品，恕不受理。
- 使用前須先與管理人員洽談樣品內容、處理方式後再決定是否進行試驗。
- 本儀器拒絕受理(1)含有毒性、腐蝕性、揮發性及低熔點等之試樣；(2)具磁性試樣。