簡介
最新兼具-超高解析/分析能力之完美機型,特別適用於導電性差/敏感/生物試片,同時又具備熱場的大又穩定的分析電流,適用於日後之各種應用
功能說明
SEM/EDS/EBSD分析
服務對象
校內、校際、廠商
服務項目
- SEI (二次電子影像)與BEI(背向電子影像)：樣品結構觀察
- EDS(能量分散光譜儀): 成分分析
- EBSD(背向散射電子繞射儀): 定量晶體取向
聯絡人
聯絡人:08-7703202轉7553
負責教授:材料所盧威華 教授 08-7703202轉7554
材料所林鉉凱 教授 08-7703202轉7568
儀器廠牌/型號
JSM-7600F FESEM / JEOL Ltd.
儀器規格
- 1.0 nm ( 加速電壓15KV )、1.5 nm ( 加速電壓 1KV )
- 倍率: 25 to 1,000,000×
- 加速電壓: 0.5 to 30 kV
- 探測電流:A few pA to 200 nA
- 試片移動範圍: X軸: 70mm、Y軸: 50 mm、旋轉: 360度、Z軸: 1.5 to 25 mm。
- 試片載台種類:全範圍eucentric goniometer載台最大規格 長25 mm 高1cm。
數量
1
收費標準
服務項目
屏科大 委託操作 (校內) 450 元/時
委託操作 (校際) 800 元/時
委託操作 (一般廠商) 1,500 元/時
鍍金，基本以2分鐘為單位 500 元/次
鍍鉑，基本以2分鐘為單位 500 元/次
鍍碳，基本以2分鐘為單位 600 元/次
EDS 元素分析每次加收 300 元/時
EBSD 成分分析每次加收 200 元/次
光碟片 10 元/片
注意事項
- 若預約當日無法如期到達或遲到超過30分鐘(含)以上且未提前告知負責人，則取消當日預約，累積取消2次以上，暫停下個月預約權利。
- SEM載台最大規格 直徑25 mm(同10元硬幣大小) 高1cm。
- EBSD載台最大規格 面積1x1cm 高2mm (勿超過)。
- 試件試片不得為含有毒性、腐蝕性、揮發性、磁性、水分及低熔點等粉末材料及有機高分子材料、未曾於本中心室進行實驗之人員，請先電話聯繫或至CE439詢問，確定樣品處理方式。
- 非導電性及導電性差的試片(包括使用樹脂鑲埋之試片)，皆要經過〝鍍導電膜〞之程序方可。試片表面必須用碳膠帶或銀膠將表面接地狀態。
- 嚴禁使用含有揮發性及水氣的試片，試片在拋光腐蝕後，再用吹風機吹乾，至少要讓試片自然風乾1 至2 個小時，方可使用SEM 來觀察。
- 使用者未按標準操作程序操作，致使儀器或相關設備受損者得負損壞賠償責任。
- 欲預約實驗時段，請親自到場填表，若無法到場，煩請以電話預約，並詳細註明實驗樣品。
- 若於預約當日，無法如期到場，請於預約日前幾天，以電話告知本中心研究助理，取消該預約時段。
- 若於預約當日，無法如期到場，仍無用電話事先取消該預約時段，累計2次以上，暫停該預約者1個月的預約權。
- 若因人為操作不當，導致機台故障，累計2次以上，立即取消該預約者認證資格，並暫停該預約者1個月預約權。經1個月後，需再次認證，經認證通過才給發操作執照。
- 若因人為操作不當，導致機台嚴重故障或是損毀，立即取消該預約者認證資格，並暫停該預約者半年預約權。經半年後，需再次認證，經認證通過才給發操作執照。
- 經認證許可資格者，在無事先預約實驗時段與A級人員陪同情況下，自行操作機台，經發現其行為累計2次以上者，立即取消該預約者認證資格。並暫停該預約者1 個月預約權，經1個月後，需再次認證，經認證通過才給發操作執照。
- 實驗室內不得攜帶任何食物及飲料進入，第一次予以警告，第二次予以停權兩個星期。
- OL APERTURE、
- 二次電子sensor、
- OL lens外部電極、
- OL lens內部、